催化燃烧废气处理设备在电子半导体行业的应用越来越广泛，这主要是由于电子半导体行业在制造过程中会产生大量有机气体和有毒气体，对环境和人体健康造成严重的危害。因此，催化燃烧废气处理设备在电子半导体行业应用是非常必要的。本文将介绍一个针对某电子半导体厂的催化燃烧废气处理设备应用案例。

一、电子半导体行业废气情况及催化燃烧废气处理的必要性

电子半导体行业是一种高新技术产业，它包括了集成电路(IC)、半导体材料、电子元器件、电子专用材料、电子信息系统和应用等多个方面。在这些领域中，制造过程中往往会产生大量的有机气体和有毒气体，如挥发性有机物(VOC)、氟化氢(HF)、氯化氢(HCl)、氮氧化物(NOx)、苯、甲醛等。这些废气中有一些是对人体有毒的，其挥发性、氧化性和易燃性也很强。如果这些废气不做适当的处理，将会对人体健康及周围环境造成很大的危害。在电子半导体行业中，制造过程中排放废气量很大，因此，催化燃烧废气处理设备就具有了很大的应用场景。
二、电子半导体行业催化燃烧废气处理设备的应用案例

某电子半导体厂由于生产设备的老化以及工艺、工艺气体的变更，导致废气的排放质量指标严重超标。为将污染物达标排放，客户选择了催化燃烧废气处理设备，对有机废气进行治理。此次项目排放处理场所面积达25平方米，废气抽取口位于生产设备上方。现将该项目的设计、施工及调试情况进行介绍。

1. 设计方案

针对该电子半导体厂的实际情况，处理方案采用VOCs的催化燃烧技术，采用微正压原理，根据排放物的种类、浓度、运行温度、流量等参数，选用了燃气/空气混合比为1.2/1的亚甲基蓝催化剂催化燃烧技术。催化燃烧废气处理设备采用的是进口催化器和燃烧器，主体设备包涵进风管、调节阀、催化燃烧器、蓝牙小型远程控制器、排烟风机、风机变频控制柜等，主要技术指标为：

(1) 处理清洁率：≥99%；

(2) 废气进口浓度：1000毫克/立方米；

(3) 处理空气量：750立方米/小时；

(4) 烟气温度：150~300℃；

(5) 执行标准：《国家废气排放标准》GB 16297-1996。

2. 施工过程

催化燃烧废气处理设备的安装、接线、调试都需要按照专业的要求进行，并在专业人员的指导下操作。施工时需要特别注意如下细节：

(1) 安装催化燃烧器时需要按照设备的设计图纸进行正确的定位。

(2) 安装催化器时需要严格遵守催化器厂家的操作要求，以避免对催化器造成损害。

(3) 安装焚烧器时需要对其进风管进行密封，以保证在工作时的始终有足量的氧气供应。

(4) 排气管道的平直输送，保证管段不弯曲、不堵塞，以免影响运行效果。

3. 调试工作

安装完成后，需要对催化燃烧废气处理设备进行调试和运行试验，以实现正常的运行。具体步骤如下：

(1) 在达到规定的进风量下，调整控制器的气和氧气混合比。

(2) 检查排气管路、排气风机是否正常运转、催化器是否有渣滓积聚、检测设备是否有漏气回流现象。

(3) 小范围加热催化燃烧废气处理设备，记录温度变化，并观察是否有漏气现象。

(4) 压缩空气+空气/空气魔板进行稳压稳流校准，检查VOCs浓度分析后的准确性、响应时间和分析设备的性能等。

(5) 根据国家标准或客户要求进行检验测试，检查处理后的废气浓度是否达到国家要求。

以上调试工作一般由专业的调试工程师和生产工程师完成。

三、结语

本文主要介绍了催化燃烧废气处理设备在电子半导体行业中的应用案例，针对该电子半导体厂的废气情况，采取了VOCs的催化燃烧技术，达到了很好的处理效果。在电子半导体制造过程中，催化燃烧废气处理设备的应用是非常必要的，可有效减少废气排放对人类健康及周围环境造成危害。